手動探針臺
為各類芯片及器件提供精準的夾具及三維探針對準功能
產品特性
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MPS150A設備是增強型手動分析探針臺，用于為各種半導體芯片、微波器件等提供一個光、電參數測試、分析的平臺，可吸附多種規格的圓片及芯片，并提供可調測試針及探卡測試針座。適用于大學、實驗室、大生產線對芯片進行科研分析、抽查測試等用途。
技術指標
| 性能名稱 | 技術指標 | |
|---|---|---|
| 可測圓片尺寸 | 2″、3″、4″、6″ | |
| 工作臺 | 行程 | 160mm×160mm |
| 結構 | 精密高剛性直線導軌，滾珠絲杠 | |
| 分辨率 | 0.001mm-0.01mm（根據需求絲桿導程可選） | |
| 操作方式 | 手輪 | |
| 承片臺 | Z向接觸/分離 | 行程0-3mm |
| Z向粗調行程 | 10mm | |
| θ向微調范圍 | ±15度（360度可選） | |
| 針座平臺 | 升、降行程 | 0.66mm |
| 接觸/分離 | 真空吸附 | |
| 吸片盤 | 吸片方式 | 真空吸附 |
| 分檔 | （2″、3″）、4″、6″單獨真空吸附，三檔可選 | |
| 上、下片方式 | 快速抽屜式上、下片 | |
| 顯微鏡微調支架 | X方向± 45mm，Y方向± 45mm，Z方向30mm，整體后仰角20 o可調，顯微鏡的前后傾角為30o | |
| 外形尺寸 | 610mm×560mm×500mm（長×寬×高） | |
| 設備重量 | 約40 KG | |
| 使用環境 | 電源 | AC 220V±22V?? 50Hz±1Hz |
| 功率 | 0.05kW | |
| 真空 | -80 KPa | |
| 環境溫度 | 15oC-30oC | |
| 相對濕度 | ＜60% | |
