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    手動探針臺

    為各類芯片及器件提供精準的夾具及三維探針對準功能

    產品特性

     

    MPS150A設備是增強型手動分析探針臺,用于為各種半導體芯片、微波器件等提供一個光、電參數測試、分析的平臺,可吸附多種規格的圓片及芯片,并提供可調測試針及探卡測試針座。適用于大學、實驗室、大生產線對芯片進行科研分析、抽查測試等用途。

    技術指標

    性能名稱 技術指標
    可測圓片尺寸 2″、3″、4″、6″
    工作臺 行程 160mm×160mm
    結構 精密高剛性直線導軌,滾珠絲杠
    分辨率 0.001mm-0.01mm(根據需求絲桿導程可選)
    操作方式 手輪
    承片臺 Z向接觸/分離 行程0-3mm
    Z向粗調行程 10mm
    θ向微調范圍 ±15度(360度可選)
    針座平臺 升、降行程 0.66mm
    接觸/分離 真空吸附
    吸片盤 吸片方式 真空吸附
    分檔 (2″、3″)、4″、6″單獨真空吸附,三檔可選
    上、下片方式 快速抽屜式上、下片
    顯微鏡微調支架 X方向± 45mm,Y方向± 45mm,Z方向30mm,整體后仰角20 o可調,顯微鏡的前后傾角為30o
    外形尺寸 610mm×560mm×500mm(長×寬×高)
    設備重量 約40 KG
    使用環境 電源 AC 220V±22V?? 50Hz±1Hz
    功率 0.05kW
    真空 -80 KPa
    環境溫度 15oC-30oC
    相對濕度 <60%

    產品特性

    XH-MP150B設備是增強型手動分析探針臺,用于為各種半導體芯片、微波器件等提供一個光、電參數測試分析的平臺,可吸附多種規格的圓片及芯片,并提供可調測試針及探卡測試針座。適用于大學、實驗室、大生產線對芯片進行科研分析、抽查測試等用途。設備可代替美國CASCADE公司的EPS150系列的手動探針臺。

    技術指標

    性能名稱 技術指標
    可測圓片尺寸 2″、3″、4″、6″
    工作臺 行程 160mm×160mm
    結構 精密高剛性直線導軌,滾珠絲杠
    分辨率 0.001mm-0.01mm(根據需求絲桿導程可選)
    操作方式 手輪
    承片臺 Z向接觸/分離 行程0-3mm(可分三檔)
    θ向微調范圍 ±5 o微調(360 o粗調)
    針座平臺 升、降行程 30mm
    接觸/分離 0.66mm
    吸片盤 吸片方式 真空吸附
    分檔 (2″、3″)、4″、6″單獨真空吸附,三檔可選
    上、下片方式 快速抽屜式上、下片
    顯微鏡及配件 立柱式支架 前、后,上、下、旋轉,仰角四維可調
    顯微鏡 雙目體視顯微鏡90X
    照明燈 LED環形燈
    外形尺寸 610mm×560mm×500mm(長×寬×高)
    設備重量 約40 KG
    使用環境 電源 AC 220V±22V?? 50Hz±1Hz
    功率 0.05kW
    真空 -80 KPa
    環境溫度 15oC-30oC
    相對濕度 <60%

    產品特性

    XH-MP150C 設備是增強型手動分析探針臺,用于為各種半導體芯片、微波器
    件等提供一個光、電參數測試、分析的平臺,可吸附多種規格的圓片及芯片,并
    提供可調測試針及探卡測試針座。適用于大學、實驗室、大生產線對芯片進行科
    研分析、抽查測試等用途。

    技術指標

    性能名稱 技術指標
    可測圓片尺寸 2″、3″、4″、6″
    工作臺 行程 160mm×160mm
    結構 精密高剛性直線導軌,滾珠絲杠
    分辨率 0.001mm-0.01mm(根據需求絲桿導程可選)
    操作方式 手輪
    承片臺 Z向接觸/分離 行程0.5mm
    θ向微調范圍 ±15度
    吸片盤 吸片方式 真空吸附
    分檔 (2″、3″)、4″、6″單獨真空吸附,三檔可選
    顯微鏡及配件 立柱式支架 前、后,上、下、旋轉,仰角四維可調
    顯微鏡 雙目體視顯微鏡 45X
    照明燈 LED 環形燈
    相關配件 打點器 可調三維座,驅動DC24V
    測試探針 高彈性鎢針
    三維針座 磁性吸附式,可調范圍:x: ±6.5mm,y: ±6.5mm,z: ±6.5mm
    外形尺寸 610mm×560mm×500mm(長×寬×高)
    設備重量 約30 KG
    使用環境 電源 AC 220V±22V 50Hz±1Hz
    功率 0.05kW
    真空 -80 KPa
    環境溫度 15oC-30oC
    相對濕度 <70%

    產品特性

    XH-PS150設備是簡易手動探針臺,用于為各種半導體芯片、微波器件等提供一個光、電參數測試、分析的平臺,可吸附多種規格的圓片及單芯片,并提供可調測試針及探卡測試針座。適用于大學、實驗室、大生產線對芯片進行科研分析、抽查測試等用途。

    技術指標

    性能名稱 技術指標
    可測圓片尺寸 2″、3″、4″、6″
    工作臺 行程 155mm×155mm
    結構 精密直線導軌,滾珠絲杠
    分辨率 0.001mm-0.01mm(根據需求絲桿導程可選)
    操作方式 手輪
    承片臺 Z向接觸/分離 行程0.5mm
    θ向微調范圍 ±15度
    顯微鏡 顯微鏡 雙目體視顯微鏡90X
    照明燈 LED環形燈
    吸片盤 吸片方式 真空吸附
    相關配件 測試探針 高彈性鎢針
    三維針座 磁性吸附式,可調范圍:x: ±6.5mm, y: ±6.5mm,z: ±6.5mm
    外形尺寸 500mm×500mm×550mm(長×寬×高)
    設備重量 約30 KG
    使用環境 電源 AC 220V±22V?? 50Hz±1Hz
    功率 0.05kW
    真空 -80 KPa
    環境溫度 15oC-30oC
    相對濕度 <70%

    精密三維探針座

    性能名稱 技術指標
    結構 交叉滾珠導軌,千分尺結構
    分辨率精度 10μm
    可調范圍

    x: ±6.5mm

    y: ±6.5mm

    z: ±6.5mm

    可開關磁力座

    外形尺寸 65mm×65mm×20mm(長×寬×高)

    三維探針座

    性能名稱 技術指標
    分辨率精度

    30μm

    可調范圍

    x: ±6.5mm
    y: ±6.5mm
    z: ±6.5mm