手動探針臺
為各類芯片及器件提供精準的夾具及三維探針對準功能
為各類芯片及器件提供精準的夾具及三維探針對準功能
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MPS150A設備是增強型手動分析探針臺,用于為各種半導體芯片、微波器件等提供一個光、電參數測試、分析的平臺,可吸附多種規格的圓片及芯片,并提供可調測試針及探卡測試針座。適用于大學、實驗室、大生產線對芯片進行科研分析、抽查測試等用途。
性能名稱 | 技術指標 | |
---|---|---|
可測圓片尺寸 | 2″、3″、4″、6″ | |
工作臺 | 行程 | 160mm×160mm |
結構 | 精密高剛性直線導軌,滾珠絲杠 | |
分辨率 | 0.001mm-0.01mm(根據需求絲桿導程可選) | |
操作方式 | 手輪 | |
承片臺 | Z向接觸/分離 | 行程0-3mm |
Z向粗調行程 | 10mm | |
θ向微調范圍 | ±15度(360度可選) | |
針座平臺 | 升、降行程 | 0.66mm |
接觸/分離 | 真空吸附 | |
吸片盤 | 吸片方式 | 真空吸附 |
分檔 | (2″、3″)、4″、6″單獨真空吸附,三檔可選 | |
上、下片方式 | 快速抽屜式上、下片 | |
顯微鏡微調支架 | X方向± 45mm,Y方向± 45mm,Z方向30mm,整體后仰角20 o可調,顯微鏡的前后傾角為30o | |
外形尺寸 | 610mm×560mm×500mm(長×寬×高) | |
設備重量 | 約40 KG | |
使用環境 | 電源 | AC 220V±22V?? 50Hz±1Hz |
功率 | 0.05kW | |
真空 | -80 KPa | |
環境溫度 | 15oC-30oC | |
相對濕度 | <60% |