自動探針臺
實現原型、方形、異形晶圓的自動對準，自動電學測量
技術性能
XH-AP150臺半自動探針臺能與測試儀配接后，自動完成對芯片的電參數測試。
技術指標
| 性能名稱 | 技術指標 | |
|---|---|---|
| 可測片徑 | 4″、5″、6″ | |
| 工作臺 | 定位精度 | ≤±0.015mm |
| 進步分辨率 | 0.001mm | |
| 承片臺 | Z向行程 | 8mm |
| Z向定位精度 | ≤±0.005mm | |
| Z向分辨率 | 0.001mm | |
| θ向調節范圍 | ±10° | |
| θ向分辨率 | 0.001° | |
| 觀察裝置 | 雙目體視顯微鏡?，放大倍數7.5X～45X | |
| 遮光罩裝置（適合對光敏感器件的遮光測試） | 選配 | |
| 上、下片方式 | 手動方式 | |
| 外形尺寸（寬×深×高） | 750mm×700mm×1500mm | |
| 使用環境要求 | 電源 | AC 220V±22V 50Hz±1Hz |
| 功率 | ＜0.8KW | |
| 真空 | < -80 KPa | |
| 溫度 | 10oC-30oC | |
| 濕度 | ＜60% | |