自動探針臺
實現原型、方形、異形晶圓的自動對準,自動電學測量
實現原型、方形、異形晶圓的自動對準,自動電學測量
性能名稱 | 技術指標 | |
---|---|---|
可測片徑 | 4″、5″、6″ | |
工作臺 | 定位精度 | ≤±0.015mm |
進步分辨率 | 0.001mm | |
承片臺 | Z向行程 | 8mm |
Z向定位精度 | ≤±0.005mm | |
Z向分辨率 | 0.001mm | |
θ向調節范圍 | ±10° | |
θ向分辨率 | 0.001° | |
觀察裝置 | 雙目體視顯微鏡?,放大倍數7.5X~45X | |
遮光罩裝置(適合對光敏感器件的遮光測試) | 選配 | |
上、下片方式 | 手動方式 | |
外形尺寸(寬×深×高) | 750mm×700mm×1500mm | |
使用環境要求 | 電源 | AC 220V±22V 50Hz±1Hz |
功率 | <0.8KW | |
真空 | < -80 KPa | |
溫度 | 10oC-30oC | |
濕度 | <60% |