• 
    
  • <dd id="gnjzg"><track id="gnjzg"></track></dd>

    自動探針臺

    實現原型、方形、異形晶圓的自動對準,自動電學測量

    技術性能

    XH-AP150臺半自動探針臺能與測試儀配接后,自動完成對芯片的電參數測試。
  • 計算機配置Win XP操作系統
  • 光隔離專用接口、GPIB接口
  • MAP圖動態顯示測試全過程
  • 測試結果數據庫存儲、查詢
  • 同步、延時、離線打點方式
  • 圓形、探邊等多種測試方式
  • 遮光罩針對光敏器件的測試
  • 接駁高分辨率CCD視頻顯示
  • 圖像識別自動對準測試位置
  • 技術指標

    性能名稱 技術指標
    可測片徑 4″、5″、6″
    工作臺 定位精度 ≤±0.015mm
    進步分辨率 0.001mm
    承片臺 Z向行程 8mm
    Z向定位精度 ≤±0.005mm
    Z向分辨率 0.001mm
    θ向調節范圍 ±10°
    θ向分辨率 0.001°
    觀察裝置 雙目體視顯微鏡?,放大倍數7.5X~45X
    遮光罩裝置(適合對光敏感器件的遮光測試) 選配
    上、下片方式 手動方式
    外形尺寸(寬×深×高) 750mm×700mm×1500mm
    使用環境要求 電源 AC 220V±22V 50Hz±1Hz
    功率 <0.8KW
    真空 < -80 KPa
    溫度 10oC-30oC
    濕度 <60%

    查看系統界面